本報記者 宋智輝
隨著湖南長沙惠科超高純氣體供應項目現場調試指揮部傳來一個簡單的數據——1ppb（即十億分之一的雜質含量，目前國內最高質量標準），遠在廣東廣州的廣鋼氣體遠程數字化中心沸騰了。所有人都在密切地關注著調試過程，每一個參數的跳動都牽動著大家的心跳。這是廣鋼氣體自主研發的Super-N系列超高純制氮系統優化后取得的巨大進步，也是該專利產品被投入商業化實踐后，助力攻克電子氣體“卡脖子”技術取得的重大突破。
滿足國內最高質量標準
打響本土氣體品牌
作為國內第一家具有超高純電子大宗氣體供應服務能力的氣體企業，廣鋼氣體繼2018年打破外資壟斷、成功中標安徽滁州惠科公司（簡稱“惠科公司”）超高純氣體項目后，持續發力改進技術與設備。2020年，該公司在電子氣體業務板塊再開新局，成功拿下長沙惠科超高純大宗氣站供應項目。
作為惠科公司在全國布局的第4個生產基地，該項目是湖南長沙瀏陽經濟技術開發區建設大尺寸超高清顯示屏及OLED顯示屏生產線的重要供氣配套設備，總投資額為320億元。其建成后可為長沙惠科提供ppb級的超高純氣體，并確保其可供性達到100%。該項目在今年3月31日進入調試收尾階段，制氮機氮氣產量達13400立方米/小時，產品純度達1ppb，比起初合同約定的供氣時間整整提前了1個月。
填補國內技術空白
提供“中國芯”保障
高純氮氣是電子行業不可缺少的基礎性原材料，可用于制造超大規模集成電路、液晶顯示器件、半導體發光器件和半導體材料等。
廣鋼氣體Super-N系列超高純制氮系統，是國內首套具有自主知識產權的超高純氣體制取系統，創造了國內超高純后備系統供氣的最短用時紀錄。該系統在2019年成功投產，并于2021年初獲得國家頒發的發明專利證書。經優化設計后，該系統在長沙惠科超高純氣體供應項目再次成功實踐，填補了國內制氮裝置出冷箱雜質1ppb的空白，滿足了目前國內芯片項目對制氮裝置出冷箱產品最嚴格的純度要求，是廣鋼氣體發展歷程中里程碑式的技術進階，為進一步實現“廣鋼氣體制造中國芯”的目標提供了硬件保障。
打破外資制約
攻克行業“卡脖子”難題
2021年3月份，工信部等多個部委召開工業氣體“卡脖子”技術問題協調工作會議，協調推進解決制約行業發展的“卡脖子”技術問題，并指出當前電子氣體市場受制于外資品牌的發展困境。
廣鋼氣體積極打破行業壁壘，在與一眾外資巨頭的競爭中培育出內資氣體品牌的發展優勢。近幾年，其發展勢頭更加強勁，其中電子氣體業務發展迅猛，在平板顯示、芯片等半導體領域均取得了亮眼的成績，頻頻獲得業內的關注與認可。目前，廣鋼氣體已分別在深圳、滁州建設了3套國內領先的ppb級超高純氮氣空分裝置，及ppb級大宗氣體純化系統，形成了強有力的技術堡壘。下一步，廣鋼氣體將充分整合廣州工控資源條件，打造差異化競爭優勢，助力解決電子氣體“卡脖子”技術難題，打破半導體高端領域氣體材料的進口制約，集中力量賦能“中國芯”。
《中國冶金報》（2021年5月12日 08版八版）
